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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 求助关于磁控溅射的问题
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

谢谢啦 我先看看这篇文章
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11楼2011-12-13 13:37:08
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feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以的，不过要看你们的仪器状况，以前我带过一个师弟做这个课题研究，不过你最好先把溅射电源找到，换线时要把这部分断电的
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浅蓝深蓝
roc
12楼2011-12-13 17:00:27
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
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楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的，不过要看你们的仪器状况，以前我带过一个师弟做这个课题研究，不过你最好先把溅射电源找到，换线时要把这部分断电的

反接之后氩离子轰击的就是样品，靶材物质又如何能溅射到样品上呢？嘿嘿，不好意思啊，还是有点不明白~~~
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13楼2011-12-13 20:10:12
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

请问你那儿有他的论文吗，我查了下没查到呢，有的话能不能给我发一下呢，谢谢啦~~~
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14楼2011-12-13 20:10:48
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feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

夕阳西下: 反接之后只是正负极吸附的粒子种类发生了变化，但是空间的电离场依然不变。 2011-12-14 13:48:43
引用回帖:
12楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的，不过要看你们的仪器状况，以前我带过一个师弟做这个课题研究，不过你最好先把溅射电源找到，换线时要把这部分断电的

，反接以后怎么可能将靶材上的轰出呢？他轰击的就是样品，所以腰溅射时要在接回来，反正在真空状态有足够的时间让你在接回来，我们以前是因为有3套溅射系统，所以不用接来接去
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roc
15楼2011-12-14 09:09:58
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by guoguixin1 at 2011-12-12 23:04:28:
负偏压也叫反溅射就是他基材作为负极，让氩离子轰击基材打掉基材上的东西，我们用反溅射来清洗基材

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢，是不是很高呀~~~
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16楼2011-12-15 21:07:32
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢，是不是很高呀~~~
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17楼2011-12-15 21:08:20
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 11:59:21:
负偏压很容易的，将靶上的电极反接就可以了

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢，是不是很高呀~~~
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18楼2011-12-15 21:08:34
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浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的，不过要看你们的仪器状况，以前我带过一个师弟做这个课题研究，不过你最好先把溅射电源找到，换线时要把这部分断电的

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢，是不是很高呀~~~
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19楼2011-12-15 21:08:48
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aheyingwhg

新虫 (正式写手)
你老板说的是自辉光清洗。我建议你在我这搞个霍尔源，专业清洗，比你那个干净多了
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20楼2012-03-25 20:49:26
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