24小时热门版块排行榜    

查看: 2993  |  回复: 29

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

谢谢啦 我先看看这篇文章
11楼2011-12-13 13:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以的,不过要看你们的仪器状况,以前我带过一个师弟做这个课题研究,不过你最好先把溅射电源找到,换线时要把这部分断电的

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

roc
12楼2011-12-13 17:00:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的,不过要看你们的仪器状况,以前我带过一个师弟做这个课题研究,不过你最好先把溅射电源找到,换线时要把这部分断电的

反接之后氩离子轰击的就是样品,靶材物质又如何能溅射到样品上呢?嘿嘿,不好意思啊,还是有点不明白~~~
13楼2011-12-13 20:10:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

请问你那儿有他的论文吗,我查了下没查到呢,有的话能不能给我发一下呢,谢谢啦~~~
14楼2011-12-13 20:10:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

夕阳西下: 反接之后只是正负极吸附的粒子种类发生了变化,但是空间的电离场依然不变。 2011-12-14 13:48:43
引用回帖:
12楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的,不过要看你们的仪器状况,以前我带过一个师弟做这个课题研究,不过你最好先把溅射电源找到,换线时要把这部分断电的

,反接以后怎么可能将靶材上的轰出呢?他轰击的就是样品,所以腰溅射时要在接回来,反正在真空状态有足够的时间让你在接回来,我们以前是因为有3套溅射系统,所以不用接来接去
roc
15楼2011-12-14 09:09:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by guoguixin1 at 2011-12-12 23:04:28:
负偏压也叫反溅射就是他基材作为负极,让氩离子轰击基材打掉基材上的东西,我们用反溅射来清洗基材

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢,是不是很高呀~~~
16楼2011-12-15 21:07:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢,是不是很高呀~~~
17楼2011-12-15 21:08:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 11:59:21:
负偏压很容易的,将靶上的电极反接就可以了

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢,是不是很高呀~~~
18楼2011-12-15 21:08:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by feiepeng at 2011-12-13 17:00:27:
可以的,不过要看你们的仪器状况,以前我带过一个师弟做这个课题研究,不过你最好先把溅射电源找到,换线时要把这部分断电的

请问加负偏压后基材上得温度大概多少呢,是不是很高呀~~~
19楼2011-12-15 21:08:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aheyingwhg

新虫 (正式写手)

你老板说的是自辉光清洗。我建议你在我这搞个霍尔源,专业清洗,比你那个干净多了
20楼2012-03-25 20:49:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 浅蓝深蓝 的主题更新
信息提示
请填处理意见