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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 求助关于磁控溅射的问题
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wsword.3

金虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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21楼2012-04-30 09:57:13
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金虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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22楼2012-04-30 09:57:36
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金虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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23楼2012-04-30 09:57:52
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金虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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24楼2012-04-30 09:58:18
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金虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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25楼2012-04-30 09:58:48
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金虫 (初入文坛)
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好！对于此现象可如几位的建议，但有一个更好的办法，但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲，你好，请问你这里所说的中频脉冲偏压，占空比和频率有没有一定要求呢？中频大概是指多少？然后严少平这个名字有无错误啊，查不到呢，谢谢你啊～～～
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26楼2012-04-30 10:00:29
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jiajia1106

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
27楼2012-04-30 19:34:34
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)
我们的磁控可以选择电极反接，用来进行表面清洁和处理。
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sgdaiwen
28楼2013-08-31 10:24:46
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迫不得已

银虫 (小有名气)
这个可以利用辉光清洗5到10分钟，抽真空至十的负三次方，加热至200℃，充人氩气，接通工件偏压电源，由400V缓慢调至600V，偏压稳定可直接跳至600V，辉光清洗5分钟，对工件进行清洗。
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我就是我，颜色不一样的烟火
29楼2014-03-13 22:16:21
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十号先生

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Easony at 2011-12-11 21:58:52
自溅射就是通过离子轰击把靶材的原子沉积到样品表面，溅射时候是利用等离子体一般用氩气来完成的，氩离子带正电，要向阴极跑，所以靶材就是溅射阴极，阻值？没听过，没有什么阻值，只有电压阈值，就是等离子体激发的 ...

请教一下，样品的大小有限制吗，我用的3cm*1cm大小的铁片可以吗。厚度很小。
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30楼2016-01-03 20:10:23
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