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wsword.3

金虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
21楼2012-04-30 09:57:13
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
22楼2012-04-30 09:57:36
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金虫 (初入文坛)

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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
23楼2012-04-30 09:57:52
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
24楼2012-04-30 09:58:18
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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
25楼2012-04-30 09:58:48
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金虫 (初入文坛)

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8楼: Originally posted by spyan581 at 2011-12-12 23:53:40:
你好!对于此现象可如几位的建议,但有一个更好的办法,但你的溅射仪的偏压不一定能实现。即在基体上加上500V左右的中频脉冲电压。具体工工艺可参考严少平的博士毕业论文。

亲,你好,请问你这里所说的中频脉冲偏压,占空比和频率有没有一定要求呢?中频大概是指多少?然后严少平这个名字有无错误啊,查不到呢,谢谢你啊~~~
26楼2012-04-30 10:00:29
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jiajia1106

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

27楼2012-04-30 19:34:34
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)

我们的磁控可以选择电极反接,用来进行表面清洁和处理。
sgdaiwen
28楼2013-08-31 10:24:46
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迫不得已

银虫 (小有名气)

这个可以利用辉光清洗5到10分钟,抽真空至十的负三次方,加热至200℃,充人氩气,接通工件偏压电源,由400V缓慢调至600V,偏压稳定可直接跳至600V,辉光清洗5分钟,对工件进行清洗。
我就是我,颜色不一样的烟火
29楼2014-03-13 22:16:21
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十号先生

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Easony at 2011-12-11 21:58:52
自溅射就是通过离子轰击把靶材的原子沉积到样品表面,溅射时候是利用等离子体一般用氩气来完成的,氩离子带正电,要向阴极跑,所以靶材就是溅射阴极,阻值?没听过,没有什么阻值,只有电压阈值,就是等离子体激发的 ...

请教一下,样品的大小有限制吗,我用的3cm*1cm大小的铁片可以吗。厚度很小。
30楼2016-01-03 20:10:23
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