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热处理后电阻率为什么变大
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各位虫友，我做的是半导体的磁控溅射镀膜，别人热处理后都是因为结晶性变好，电阻率减小，为什么我的不论多少度的热处理，热处理时间是1小时，电阻率都是变大呢？仔细分析数据，霍尔迁移率是增大的，但是载流子浓度减小很多，应该是载流子浓度减小导致的电阻率增大。 请问有没有有类似实验结果的虫友，怎么才能解释热处理导致的载流子浓度减小呢？ |
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