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热处理后电阻率为什么变大
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各位虫友,我做的是半导体的磁控溅射镀膜,别人热处理后都是因为结晶性变好,电阻率减小,为什么我的不论多少度的热处理,热处理时间是1小时,电阻率都是变大呢?仔细分析数据,霍尔迁移率是增大的,但是载流子浓度减小很多,应该是载流子浓度减小导致的电阻率增大。 请问有没有有类似实验结果的虫友,怎么才能解释热处理导致的载流子浓度减小呢? |
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