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417473277

木虫 (正式写手)

[求助] 热处理后电阻率为什么变大

各位虫友,我做的是半导体的磁控溅射镀膜,别人热处理后都是因为结晶性变好,电阻率减小,为什么我的不论多少度的热处理,热处理时间是1小时,电阻率都是变大呢?仔细分析数据,霍尔迁移率是增大的,但是载流子浓度减小很多,应该是载流子浓度减小导致的电阻率增大。
请问有没有有类似实验结果的虫友,怎么才能解释热处理导致的载流子浓度减小呢?
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ydf254812

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

对于晶体材料和金属材料,热处理后电阻率的变化时相反的,这个为什么相反我就不说了,楼主自己思考!
8楼2012-05-31 15:10:00
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


417473277(金币+2): 好的,谢谢您的建议! 2011-12-06 16:06:35
nofrunolif(金币+1): 谢谢交流 2011-12-06 19:30:42
电阻率与晶体结构密切相关,可以做个XRD物相分析,看看有没有新的相生成或者看看热处理过程中是否发生了反应。
2楼2011-12-06 16:03:08
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longwangye

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2011-12-07 09:05:05
417473277(金币+2): 晕,缺陷减少应该电阻率减小啊~关键是电阻率增大了,再者,为什么载流子减少呢? 2011-12-07 10:32:13
应该是热处理使得一些缺陷减少了。 这样结构变好 迁移率增大。 但载流子就少了哈
4楼2011-12-07 08:55:30
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zhufeitian02

金虫 (小有名气)

快乐心伤

【答案】应助回帖

417473277(金币+2): 嗯,这个第二相问题,容我再研究研究~ 2011-12-07 10:32:52
热处理涉及第二相的析出   可能会导致电阻变大
立业为先
5楼2011-12-07 10:25:51
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