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ucoslinux

新虫 (初入文坛)

[求助] 哪位大师能概述下:目前常见的高精度激光位移的测量原理有哪些?简要比较下!非常感谢!

哪位大师能概述下:目前常见的高精度激光位移的测量原理有哪些?简要比较下!非常感谢!

[ Last edited by 华丽的飘过 on 2012-9-22 at 22:28 ]
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1楼 2011-11-23 11:18:29
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ucoslinux

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by wwwzg at 2012-04-20 20:05:21:
最经典的应该是双频激光干涉仪，现有很多产品，如安捷伦、zygo公司都有成熟的仪器。
清华大学精密仪器系张书练教授的课题组从事基于回馈的激光位移测量研究，据说精度也很高。

谢谢回复, 非常感谢!
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8楼2012-04-20 21:33:45
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wenq05

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

你要求位移范围多少啊？我们组以前做过这方面的，产品技术还转让给一个日本公司
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2楼2011-11-25 00:15:09
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ucoslinux

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by wenq05 at 2011-11-25 00:15:09:
你要求位移范围多少啊？我们组以前做过这方面的，产品技术还转让给一个日本公司

位移测量范围是mm,测量精度nm级,请问大师目前有哪些高精度的激光测量原理?非常感谢!
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3楼2011-12-15 09:41:05
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wwwzg

木虫 (著名写手)

魔王

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ucoslinux: 金币+2 2012-04-17 10:12:28
最常用的是激光干涉仪，zygo公司有介绍。
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4楼2011-12-15 22:39:00
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