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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 哪位大师能概述下:目前常见的高精度激光位移的测量原理有哪些?简要比较下!非常感谢!
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新虫 (初入文坛)

[求助] 哪位大师能概述下:目前常见的高精度激光位移的测量原理有哪些?简要比较下!非常感谢!

哪位大师能概述下:目前常见的高精度激光位移的测量原理有哪些?简要比较下!非常感谢!

[ Last edited by 华丽的飘过 on 2012-9-22 at 22:28 ]
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1楼2011-11-23 11:18:29
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新虫 (初入文坛)
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楼: Originally posted by wenq05 at 2011-11-25 00:15:09:
你要求位移范围多少啊？我们组以前做过这方面的，产品技术还转让给一个日本公司

位移测量范围是mm,测量精度nm级,请问大师目前有哪些高精度的激光测量原理?非常感谢!
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3楼2011-12-15 09:41:05
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新虫 (初入文坛)
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楼: Originally posted by wenq05 at 2011-12-16 16:23:50:
这种我们完全可以做到，如果可以。我们可以合作。。

不知道你们采用的是什么激光测量原理??
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6楼2012-02-16 19:16:53
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新虫 (初入文坛)
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7楼: Originally posted by wwwzg at 2012-04-20 20:05:21:
最经典的应该是双频激光干涉仪，现有很多产品，如安捷伦、zygo公司都有成熟的仪器。
清华大学精密仪器系张书练教授的课题组从事基于回馈的激光位移测量研究，据说精度也很高。

谢谢回复, 非常感谢!
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8楼2012-04-20 21:33:45
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新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by wwwzg at 2012-04-20 20:05:21:
最经典的应该是双频激光干涉仪，现有很多产品，如安捷伦、zygo公司都有成熟的仪器。
清华大学精密仪器系张书练教授的课题组从事基于回馈的激光位移测量研究，据说精度也很高。

我查过以日本Keyence为代表的激光位移传感器, 如LK-G5000可达到0.01um, 还有德国DSE的ODS系列激光位移传感器. 它们都是采用激光三角法, 首先感觉激光三角法很成熟, 或者说是很通俗, 没有创新, 其次感觉其测量精度, 与干涉法相比不高, 不知是不是这样?
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9楼2012-04-20 21:50:03
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