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215817861

金虫 (小有名气)

[求助] 如何选择缓冲层

小弟方向为导电玻璃,目前做的Sb-SnO2,性能已经到了一个瓶颈,电阻率不能再降低了,想通过加缓冲层的办法继续降低电阻率。不知道能否行得通,能的话怎么选择缓冲层呢?有哪些可以作为缓冲层。求各位高人指点,谢谢
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)


nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2011-12-18 20:49:42
我觉得缓冲层的晶格常数应介于衬底与膜物质的晶格间,至少得接近,这样可以避免错配应力,使得薄膜质量更好
天道酬勤
4楼2011-12-17 21:51:21
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floljf

金虫 (正式写手)

你是通过电学上的测量,发现电阻率一直没有上去吗?
有没有检查一下成分比?
2楼2011-12-13 17:54:23
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215817861

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by floljf at 2011-12-13 17:54:23:
你是通过电学上的测量,发现电阻率一直没有上去吗?
有没有检查一下成分比?

是电学测试。你所谓的检查化学成分是什么意思?同一个靶材做出的薄膜成份会不一样吗?
3楼2011-12-14 14:03:52
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aqualite

银虫 (初入文坛)


nofrunolif(金币+1): 欢迎交流,什么原因呢? 2011-12-18 20:50:03
增加buffer厚度左右对电阻的改善应该不大!!
5楼2011-12-18 15:09:36
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