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如何选择缓冲层
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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如何选择缓冲层
小弟方向为导电玻璃,目前做的Sb-SnO2,性能已经到了一个瓶颈,电阻率不能再降低了,想通过加缓冲层的办法继续降低电阻率。不知道能否行得通,能的话怎么选择缓冲层呢?有哪些可以作为缓冲层。求各位高人指点,谢谢
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2011-11-21 21:02:58
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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楼
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Originally posted by
floljf
at 2011-12-13 17:54:23:
你是通过电学上的测量,发现电阻率一直没有上去吗?
有没有检查一下成分比?
是电学测试。你所谓的检查化学成分是什么意思?同一个靶材做出的薄膜成份会不一样吗?
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3楼
2011-12-14 14:03:52
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专业: 无机非金属类光电信息与功
你是通过电学上的测量,发现电阻率一直没有上去吗?
有没有检查一下成分比?
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2楼
2011-12-13 17:54:23
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专业: 电工材料特性及其应用
★
nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2011-12-18 20:49:42
我觉得缓冲层的晶格常数应介于衬底与膜物质的晶格间,至少得接近,这样可以避免错配应力,使得薄膜质量更好
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2011-12-17 21:51:21
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专业: 半导体材料
★
nofrunolif(金币+1): 欢迎交流,什么原因呢? 2011-12-18 20:50:03
增加buffer厚度左右对电阻的改善应该不大!!
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2011-12-18 15:09:36
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