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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » xrd测试没有衬底衍射峰
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guantou05

银虫 (小有名气)

[求助] xrd测试没有衬底衍射峰

本人是在单晶硅衬底上生长的TIO2薄膜，做xrd测试的时候，4个样品中只有一个可以看到硅衬底的衍射峰，为何？？？
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1楼 2011-11-21 09:43:29
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huaxuejidi

至尊木虫 (正式写手)

科研爱爱爱

【答案】应助回帖

是不是由于其余三个的薄膜过厚，因为xrd的光源散射只存在于表面的很薄的地方。另外也有可能是TiO2的峰过强，将衬底峰给掩盖
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朝闻道夕死可矣
2楼2011-11-21 17:17:06
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guantou05

银虫 (小有名气)
有可能吧
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3楼2011-11-21 18:08:30
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zjuhly

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你TiO2薄膜多少厚？猜测应该是TiO2薄膜太厚并且致密造成的
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4楼2011-11-22 08:34:32
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bill_shark

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果4个样品的衬底不同，比方说晶相不同，一个是Si(111)的，一个是Si(100)的，测出来的结果就会不同。
如果衬底是相同的，估计是TiO2太厚了。或者你可以把没测出来的基片反过来测一下衬底（当然前提是你只镀了一面）
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5楼2011-11-22 23:53:30
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