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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 真空镀膜厚度问题
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chjp042

新虫 (小有名气)

[求助] 真空镀膜厚度问题

真空镀膜厚度怎么测量？比如镀在光纤上又是怎么测量？厚度是几十个纳米的，谢谢指导！
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1楼 2011-11-19 17:09:34
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chemhehe

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

chjp042(金币+2): 2011-11-20 08:58:44
用石英微天平QCM进行测量
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民主自由必胜，公平正义必胜！
2楼2011-11-19 17:15:26
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chjp042

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chemhehe at 2011-11-19 17:15:26:
用石英微天平QCM进行测量

不明白
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3楼2011-11-19 18:05:37
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kongjzh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-20 12:23:49
想精确点就TEM
也可以用椭偏
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4楼2011-11-19 19:09:07
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖

chjp042(金币+2): 2011-11-20 08:58:53
引用回帖:
2楼: Originally posted by chemhehe at 2011-11-19 17:15:26:
用石英微天平QCM进行测量

这个一般来标定镀膜机工作条件。
具体检测，x射线荧光测厚仪对于纳米级单层膜或者多层膜普遍使用
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5楼2011-11-19 20:09:53
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chengch0447

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

chjp042(金币+1): 2011-11-20 08:58:56
光纤上直接很界面截断
然后用sem或tem测
一般用sem
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小白中的小白
6楼2011-11-19 23:21:33
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)
膜厚仪测镀膜的厚度
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7楼2019-08-14 09:59:29
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