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wjj82754322

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于靶材上的黑点的（Y2O3；Yb2O3）

最近买了一个0.9999的氧化镱的溅射靶，白色的靶上有很多的黑点。询问厂家给的解释是由于高温烧结时候形成的特殊的晶体结构吸光导致的，但是我们溅射之后出来的样品质量不太好。现在怀疑是靶材有问题。有没有做氧化钇的虫友友相同的靶的情况的。望分享下你们的实验。
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1楼 2011-10-24 12:14:28
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