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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问高人那些学校或研究所可以做深硅刻蚀？
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bojan14

金虫 (小有名气)

[求助] 请问高人那些学校或研究所可以做深硅刻蚀？

我知道的厦门大学有，但我的深硅刻蚀要求深宽比较大，可能满足不了我的要求。

有以前做过这方面的高人，麻烦给小弟一些意见。
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1楼 2011-10-12 10:47:27
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iamxhb

铁虫 (正式写手)
★
lchpy(金币+1): thanks for your help 2011-10-12 13:07:12
技术援助催化刻蚀硅，彭奎庆
再不就是反应粒子束刻蚀吉大吕男教授杨柏教授组
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2楼2011-10-12 12:54:23
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jy02266731

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by bojan14 at 2011-10-12 10:47:27:
我知道的厦门大学有，但我的深硅刻蚀要求深宽比较大，可能满足不了我的要求。

有以前做过这方面的高人，麻烦给小弟一些意见。

厦门大学的坏了 上学期我想用一直没用上 这学期也没修好
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3楼2011-10-12 23:16:13
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bojan14

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by iamxhb at 2011-10-12 12:54:23:
技术援助催化刻蚀硅，彭奎庆
再不就是反应粒子束刻蚀吉大吕男教授杨柏教授组

谢谢你
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4楼2011-10-13 08:40:24
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bojan14

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by jy02266731 at 2011-10-12 23:16:13:
厦门大学的坏了 上学期我想用一直没用上 这学期也没修好

你是厦大的吗？那可以去其他学校做啊
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5楼2011-10-13 08:41:35
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jy02266731

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bojan14 at 2011-10-13 08:41:35:
你是厦大的吗？那可以去其他学校做啊

是呀 上学期非常郁闷，最后只好去用国产的....
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6楼2011-10-13 09:08:50
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bojan14

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jy02266731 at 2011-10-13 09:08:50:
是呀 上学期非常郁闷，最后只好去用国产的....

那你是在哪个学校做的实验？还是本校吗
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7楼2011-10-14 10:53:14
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