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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » HfO2 在O2中退火
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desperadp

至尊木虫 (著名写手)

[求助] HfO2 在O2中退火

我用ALD沉积的HfO2薄膜，在O2中RTA退火1分钟后， 为什么氧空位反而变多了？
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1楼 2011-09-29 18:53:11
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