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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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liuyinglong

金虫 (小有名气)

[求助] 钛的镀膜问题

最近在做钛镀膜实验,真空度达到8.0E-5 pa,但镀出来的膜经XRD测试是氧化钛。本人是新手,不知道该怎么办,有高手指点一下,不胜感激!
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wmy_candymm

木虫 (著名写手)

我行我素

【答案】应助回帖

liuyinglong(金币+5): 谢谢你 2011-09-30 10:10:06
氧化钛和你现在的真空度是没有太大关系的,是不是你的镀膜材料本身已经是氧化状态了,可以考虑空蒸镀一段时间,然后再镀到需要的地方,兴许会好点,你这个真空度很不错了,不会导致钛的氧化。
Amanisonlyassickashissecretes.
2楼2011-09-29 09:09:24
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