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liuyinglong

金虫 (小有名气)

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[求助] 钛的镀膜问题

最近在做钛镀膜实验，真空度达到8.0E-5 pa,但镀出来的膜经XRD测试是氧化钛。本人是新手，不知道该怎么办，有高手指点一下，不胜感激！

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1楼 2011-09-28 11:13:51

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wmy_candymm

木虫 (著名写手)

我行我素

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【答案】应助回帖

liuyinglong(金币+5): 谢谢你 2011-09-30 10:10:06

氧化钛和你现在的真空度是没有太大关系的，是不是你的镀膜材料本身已经是氧化状态了，可以考虑空蒸镀一段时间，然后再镀到需要的地方，兴许会好点，你这个真空度很不错了，不会导致钛的氧化。

Amanisonlyassickashissecretes.

2楼2011-09-29 09:09:24

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