应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教PECVD 的matcher 参数的意义
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
41/1返回列表
查看: 937  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

太阳草

木虫 (职业作家)

[交流] 请教PECVD 的matcher 参数的意义

请教PECVD 的matcher 参数的意义
功率；U偏；Ua;Ia
还有两个手调电容C2和C1的意义
这些参数对起辉放电和成膜质量的影响，请教各位朋友
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-09-24 13:11:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+2): 谢谢参与~ 2011-09-25 08:23:47
太阳草(金币+10): 谢谢啊 2011-09-26 16:53:08
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-09-24 23:29:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

太阳草

木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by userhung at 2011-09-24 23:29:51:
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

谢谢啊。
还有两点：
1.我用的机器有两个电压参数：U偏和Ua;
2.不说衬底温度、气体成分比例，我试验中就是气压对薄膜质量影响也很大的
说明一些我用H2+SiH4生长非晶硅薄膜的。
赞一下 回复此楼
3楼2011-09-26 16:57:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
4楼2014-06-25 08:20:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 太阳草 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085404求调剂，总分309，本科经历较为丰富 +4 来财aa 2026-03-25 4/200 2026-03-28 07:41 by 棒棒球手
[考研] 295材料工程专硕求调剂 +6 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 03:51 by fmesaito
[考研] 085600材料与化工调剂 +10 A-哆啦Z梦 2026-03-23 16/800 2026-03-27 15:13 by caszguilin
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-25 7/350 2026-03-27 14:47 by 狂炫麦当当
[考研] 一志愿华东理工大学081700，初试分数271 +6 kotoko_ik 2026-03-23 7/350 2026-03-27 12:29 by 惠州彭于晏
[考研] 0703化学338求调剂！ +6 Zuhui0306 2026-03-26 7/350 2026-03-27 10:35 by shangxh
[考研] 359求调剂 +4 王了个楠 2026-03-25 4/200 2026-03-27 08:43 by 不吃魚的貓
[考研] 352求调剂 +4 大米饭！ 2026-03-22 4/200 2026-03-26 16:40 by 不吃魚的貓
[考研] 机械学硕310分，数一英一，一志愿211本科双非找调剂信息 +3 @357 2026-03-25 3/150 2026-03-26 16:34 by by.MENG
[考研] 寻找调剂 +5 倔强芒? 2026-03-21 8/400 2026-03-26 13:25 by 0906ljy
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 0854AI CV方向招收调剂 +4 章小鱼567 2026-03-23 4/200 2026-03-25 17:04 by CoderLoser
[考研] 0854电子信息求调剂 +7 α____ 2026-03-22 9/450 2026-03-25 13:37 by α____
[考研] 285求调剂 +3 AZMK 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:23 by userper
[考研] B区考研调剂 +4 yqdszhdap－ 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:51 by baoball
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
[考研] 材料考研调剂生 +3 黄粱一梦千年 2026-03-24 3/150 2026-03-24 17:00 by barlinike
[考研] 293求调剂 +3 涛涛Wjt 2026-03-22 5/250 2026-03-22 22:21 by jiangpengfei
[考研] 308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-21 3/150 2026-03-22 16:54 by i_cooler
[考研] 材料学硕301分求调剂 +7 Liyouyumairs 2026-03-21 7/350 2026-03-21 22:31 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭