应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教PECVD 的matcher 参数的意义
41/1返回列表
查看: 1030  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

太阳草

木虫 (职业作家)

[交流] 请教PECVD 的matcher 参数的意义

请教PECVD 的matcher 参数的意义
功率；U偏；Ua;Ia
还有两个手调电容C2和C1的意义
这些参数对起辉放电和成膜质量的影响，请教各位朋友
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-09-24 13:11:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+2): 谢谢参与~ 2011-09-25 08:23:47
太阳草(金币+10): 谢谢啊 2011-09-26 16:53:08
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-09-24 23:29:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

太阳草

木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by userhung at 2011-09-24 23:29:51:
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

谢谢啊。
还有两点：
1.我用的机器有两个电压参数：U偏和Ua;
2.不说衬底温度、气体成分比例，我试验中就是气压对薄膜质量影响也很大的
说明一些我用H2+SiH4生长非晶硅薄膜的。
赞一下 回复此楼
3楼2011-09-26 16:57:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
4楼2014-06-25 08:20:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 太阳草 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭