24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (1745)
>虫友互识 (417)
>导师招生 (309)
>找工作 (281)
>职场人生 (240)
>考博 (112)
>论文投稿 (105)
>考研 (93)
>博后之家 (71)
>医学 (60)
>有机交流 (24)
>休闲灌水 (23)
>招聘信息布告栏 (20)
>教师之家 (11)
>学术会议 (8)
>外文书籍求助 (2)

返回列表

太阳草

木虫 (职业作家)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3796.6
帖子: 3077
在线: 507.1小时
虫号: 711508

[交流] 请教PECVD 的matcher 参数的意义

请教PECVD 的matcher 参数的意义
功率；U偏；Ua;Ia
还有两个手调电容C2和C1的意义
这些参数对起辉放电和成膜质量的影响，请教各位朋友

回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

请教关于正丁基锂失活的问题已经有6人回复
请教如下植物名称已经有4人回复
请教有关亚细胞定位。。。。。急。。。已经有7人回复
求助我是高中生想请教关于钠和硼氢化钠还有硫酸铜的问题已经有26人回复
请教：有知道如何测定微量手性产物旋光的吗？（约100 uL）已经有6人回复
请教光栅单色仪狭缝的问题！已经有4人回复
有人做二氧化钛的吗请教各位二氧化钛在ms 怎么构型的已经有9人回复
请教各位前辈，关于套磁回信的问题请教已经有12人回复
模式识别的外行，请教个问题已经有10人回复
请教高手雷尼镍脱硫机理已经有6人回复
请教一个加工的问题已经有4人回复
【请教】请问如何提高固体脂质纳米粒的稳定性已经有4人回复
【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？已经有5人回复

1楼 2011-09-24 13:11:48

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)

应助: 1505 (讲师)
贵宾: 1.347
金币: 107941
帖子: 122982
在线: 4265.2小时
虫号: 119626

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+2): 谢谢参与~ 2011-09-25 08:23:47
太阳草(金币+10): 谢谢啊 2011-09-26 16:53:08

(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

赞一下(2人)

回复此楼

2楼2011-09-24 23:29:51

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

太阳草

木虫 (职业作家)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3796.6
帖子: 3077
在线: 507.1小时
虫号: 711508

引用回帖:

2楼: Originally posted by userhung at 2011-09-24 23:29:51:
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

谢谢啊。
还有两点：
1.我用的机器有两个电压参数：U偏和Ua;
2.不说衬底温度、气体成分比例，我试验中就是气压对薄膜质量影响也很大的
说明一些我用H2+SiH4生长非晶硅薄膜的。

赞一下

回复此楼

3楼2011-09-26 16:57:16

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zzkejing

禁虫 (正式写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

本帖内容被屏蔽

4楼2014-06-25 08:20:46

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主太阳草的主题更新

返回列表