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太阳草

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[交流] 请教PECVD 的matcher 参数的意义

请教PECVD 的matcher 参数的意义
功率；U偏；Ua;Ia
还有两个手调电容C2和C1的意义
这些参数对起辉放电和成膜质量的影响，请教各位朋友

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1楼 2011-09-24 13:11:48

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userhung

禁虫 (文学泰斗)

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★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+2): 谢谢参与~ 2011-09-25 08:23:47
太阳草(金币+10): 谢谢啊 2011-09-26 16:53:08

(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

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2楼2011-09-24 23:29:51

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太阳草

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引用回帖:

2楼: Originally posted by userhung at 2011-09-24 23:29:51:
(1)Match的作用是阻抗匹配；
(2)Chamber的有效功率是Power输出功率-反射功率；
(3)U偏压应该是指电极板的电压；
(4)频率固定的话，对薄膜影响的参数基本只有有效功率这个参数，其他无关。

谢谢啊。
还有两点：
1.我用的机器有两个电压参数：U偏和Ua;
2.不说衬底温度、气体成分比例，我试验中就是气压对薄膜质量影响也很大的
说明一些我用H2+SiH4生长非晶硅薄膜的。

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3楼2011-09-26 16:57:16

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