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yangzhou1028

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射制备Ag纳米颗粒,如何制备大尺寸颗粒啊

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quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

yangzhou1028(金币+10): 提高溅射速率,在相同时间,也就是提高覆盖率,是会增大,不过颗粒还是不够大,有没可能到50nm的颗粒 2011-09-19 21:26:44
其实银薄膜很容易形成较大的颗粒,主要因为银的沉积速率较大从而使形核到长大的时间很短。磁控溅射一般较热蒸镀或电子束蒸镀等方法或得的晶粒尺寸较小,所以如果大尺寸的晶粒我建议采用热蒸发或电子束蒸发。如果没有条件而只能用磁控溅射,那么采用加大溅射功率等能够提高溅射速率的工艺试一试。
2楼2011-09-19 10:31:10
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