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辉光等离子渗氮升温问题
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| 我用辉光等离子体渗氮,但是电压调到800以上,温度还是很难升到指定温度,研究工艺参数的影响因素更难了,请问哪位虫友有好的办法,怎么样能够在相对较低的电压下,升到500度左右,还不影响其他变量的观测。 |
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3楼2011-11-05 22:00:25
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