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红黑亚平宁

金虫 (小有名气)

[求助] 辉光等离子渗氮升温问题

我用辉光等离子体渗氮,但是电压调到800以上,温度还是很难升到指定温度,研究工艺参数的影响因素更难了,请问哪位虫友有好的办法,怎么样能够在相对较低的电压下,升到500度左右,还不影响其他变量的观测。
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379357471

金虫 (正式写手)

炉内气压太低了,气压应该升到500Pa左右吧!
7楼2013-06-08 13:22:50
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liaofang20

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


红黑亚平宁(金币+2): 2011-11-26 19:09:10
毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-01-09 12:41:35
你升温的炉压是多少?如果很低的话,把炉压升高。
2楼2011-10-28 16:34:34
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kelly2009

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


红黑亚平宁(金币+2): 2011-11-26 19:09:20
毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-01-09 12:41:44
我做的气压(氢气+氮气)50Pa左右,电流占空比0.6左右,电压800,温度五百多~
我是来学习的,~O(∩_∩)O~
3楼2011-11-05 22:00:25
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dongjie0

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-01-09 12:41:50
红黑亚平宁: 金币+1 2012-05-09 19:40:32
气压太低,氮化用350Pa还差不多。
离子轰击能力太小了,温度能上去才怪。
4楼2012-01-09 12:34:45
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