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红黑亚平宁

金虫 (小有名气)

[求助] 辉光等离子渗氮升温问题

我用辉光等离子体渗氮,但是电压调到800以上,温度还是很难升到指定温度,研究工艺参数的影响因素更难了,请问哪位虫友有好的办法,怎么样能够在相对较低的电压下,升到500度左右,还不影响其他变量的观测。
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liu3307778

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

气压太低,我们用氨气做过,气压600Pa左右,温度可以升高到1000,850摄氏度电压要850V左右。
奋进
6楼2013-06-08 08:40:57
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