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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 辉光等离子渗氮升温问题
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红黑亚平宁

金虫 (小有名气)

[求助] 辉光等离子渗氮升温问题

我用辉光等离子体渗氮，但是电压调到800以上，温度还是很难升到指定温度，研究工艺参数的影响因素更难了，请问哪位虫友有好的办法，怎么样能够在相对较低的电压下，升到500度左右，还不影响其他变量的观测。
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1楼 2011-09-16 11:28:55
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liu3307778

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

气压太低，我们用氨气做过，气压600Pa左右，温度可以升高到1000,850摄氏度电压要850V左右。
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奋进
6楼2013-06-08 08:40:57
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liaofang20

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
红黑亚平宁(金币+2): 2011-11-26 19:09:10
毛猴(金币+1): 感谢交流！ 2012-01-09 12:41:35
你升温的炉压是多少？如果很低的话，把炉压升高。
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2楼2011-10-28 16:34:34
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kelly2009

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
红黑亚平宁(金币+2): 2011-11-26 19:09:20
毛猴(金币+1): 感谢交流！ 2012-01-09 12:41:44
我做的气压（氢气+氮气）50Pa左右，电流占空比0.6左右，电压800，温度五百多~
赞一下(1人) 回复此楼
我是来学习的，~O(∩_∩)O~
3楼2011-11-05 22:00:25
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dongjie0

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
毛猴(金币+1): 感谢交流！ 2012-01-09 12:41:50
红黑亚平宁: 金币+1 2012-05-09 19:40:32
气压太低，氮化用350Pa还差不多。
离子轰击能力太小了，温度能上去才怪。
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4楼2012-01-09 12:34:45
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