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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dreammarshal

木虫 (初入文坛)

[交流] 求助：关于紫外贴合PDMS的问题

求助：各位虫友，有没有熟悉紫外照射PDMS进行芯片贴合的虫友，我最近由于等离子清洗器坏了，想使用紫外贴合的方法，但是贴合强度总是不好，请教几个问题：
1. 使用的紫外灯是什么型号的，波长是多少，请告知具体参数和厂家。
2. 操作流程是怎样的，需要注意些什么？

非常感谢！！！！！！！！
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1楼 2011-09-09 11:04:53
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)
★
dreammarshal(金币+1):谢谢参与
dreammarshal(金币+5): 非常感谢你的回复及相关信息，对我很有用。另外，关于紫外灯，能不能推荐一下型号和厂家，以避免我走弯路。谢谢 2011-09-15 18:36:26
1、PDMS片基用丙酮和水依次清洗，6 W紫外灯、玻璃没处理，照射时间为3小时即可。在芯片封装时，紫外光照处理后应迅速将PDMS和干净玻璃合拢，同时保持一定压力使它们紧密接触4~5 h，以保证封装的成功率，实现永久性粘合。
2、紫外照射PDMS永久键合（两片PDMS）：6 W低压汞灯，PDMS上芯片和PDMS通道下芯片用无水乙醇清洗，在洁净柜中吹干后，于距6 W低压汞灯3 cm处光照3 h；取出后，在1 min内将2片基合拢，在平整的玻璃片上放置48 h后使用。结果：光照3 h以上，可以明显改善粘接强度，但并非越长越好，光照12 h后，PDMS片表面变得光滑而坚硬，其光照前具有的弹性和粘附力消失，表明PDMS片表面已开始老化；光照24 h后表面呈龟裂状，因此，选择3 h作为PDMS片基光照最佳时间。片基经过3 h照射，需合拢36 h才有较强粘接强度。
3、PDMS和玻璃键合：PDMS紫外光照3 h（ZF-2型），254 nm，18 W；玻璃处理：用洗液（H2SO4:H2O2=3:1）煮沸10 min后，用超纯水冲洗，干燥，然后将其与处理过的PDMS封合，室温放置过夜；
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2楼2011-09-15 13:08:44
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)
dreammarshal(金币+1): 请问超净工作台的紫外杀菌灯能不能用，波长必须保证是254nm吗 2011-09-16 10:11:29
我觉得6W有点小，18W的应该差不多，我以前用过只有灯管的，看样子好像是18W，挺好使，比如上面提到的ZF-2型，我觉得功率可以再大点，50W左右应该可以，仅供参考
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3楼2011-09-15 19:34:41
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)
dreammarshal(金币+1): 已经试过了，效果不好，不能肯定是操作的问题还是光源的问题，谢谢了！ 2011-09-18 12:00:46
dreammarshal(金币+1): 请问超净工作台的紫外杀菌灯能不能用，波长必须保证是254nm吗 2011-09-16 10:11:29
试试不就知道了，，可以相隔不同距离看效果
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4楼2011-09-18 10:33:00
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量子学徒

银虫 (小有名气)
★
dreammarshal(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by shajun at 2011-09-15 13:08:44:
1、PDMS片基用丙酮和水依次清洗，6 W紫外灯、玻璃没处理，照射时间为3小时即可。在芯片封装时，紫外光照处理后应迅速将PDMS和干净玻璃合拢，同时保持一定压力使它们紧密接触4~5 h，以保证封装的成功率，实现永久性 ...

请问第一点和第二点的做出来的PDMS片和玻璃结合的效果是不同的吗？这亮点有什么不同呢？
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5楼2012-02-16 22:46:05
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awd51376296

金虫 (正式写手)
★
dreammarshal(金币+1): 谢谢参与
马克。。。。楼主最后怎么处理的呢
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6楼2016-01-21 21:54:03
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