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做AR-XPS测试时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程吗？
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AR-XPS中氧的平均自由程 请教高手！ 在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？ background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程” |
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