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薄膜的介电性能怎么测量啊?
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he2m16
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[交流]
薄膜的介电性能怎么测量啊?
薄膜是做在玻璃片的或者做在硅片上的,现在需要测量一下介电常数。频率范围不是很大,温度范围也不是很大。
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2011-07-18 20:45:55
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zyflong
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he2m16
at 2011-07-18 15:45:55:
薄膜是做在玻璃片的或者做在硅片上的,现在需要测量一下介电常数。频率范围不是很大,温度范围也不是很大。
不太懂,貌似做在硅片上用椭偏仪测吧,一般的电子系都会有的。
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2楼
2011-07-19 04:04:14
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zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流 2011-07-24 09:55:29
有专门测试薄膜的仪器,测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
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2011-07-24 09:31:20
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15172090543
at 2011-07-24 09:31:20
有专门测试薄膜的仪器,测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
您好!
小白想咨询一下HP4294a测试压电薄膜介电性能的问题。
我的薄膜样品是基片/Pt/PZT/Pt,8mm*8mm大小,有一台HP4294a,
是不是用探针扎在两个电极上就能测薄膜介电性能了呢?
谢谢!
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2014-04-10 11:09:43
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FLYFWY
at 2014-04-10 11:09:43
您好!
小白想咨询一下HP4294a测试压电薄膜介电性能的问题。
我的薄膜样品是基片/Pt/PZT/Pt,8mm*8mm大小,有一台HP4294a,
是不是用探针扎在两个电极上就能测薄膜介电性能了呢?
谢谢!...
是这样的,薄膜上渡了点电极就可以测了
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2014-04-20 18:20:13
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15172090543
at 2014-04-20 18:20:13
是这样的,薄膜上渡了点电极就可以测了...
那测电容的话应该是镀点电极还是整个一层电极呢?感觉上电极用点电极
的话,测的只是那一点下方的电容,不知理解的对不对?
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6楼
2014-04-21 17:49:53
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at 2014-04-21 17:49:53
那测电容的话应该是镀点电极还是整个一层电极呢?感觉上电极用点电极
的话,测的只是那一点下方的电容,不知理解的对不对?...
现在我不做这个,具体记不得了,应该是一个底电极,一个顶点电极
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7楼
2014-04-30 19:20:33
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有专门测试薄膜的仪器,带一个探针平台,测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
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8楼
2014-05-03 22:41:57
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chinaworm
at 2014-05-03 22:41:57
有专门测试薄膜的仪器,带一个探针平台,测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
我们已经有一台HP4294,想配一个探针台来测薄膜
我的薄膜样品结构是基片/Pt/薄膜/Pt,请问上电极要
镀成点电极吗?探针台有什么参数要求呢?问了问美亚先代理
的台湾奕叶的探针台,最便宜的报价6万人民币。
谢谢!O(∩_∩)O~
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9楼
2014-05-04 21:16:30
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there0oo
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想问一下楼主,你们最后是用的点电极还是镀的一层整的电极测出来的
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10楼
2015-01-08 21:41:28
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