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he2m16

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜的介电性能怎么测量啊？

薄膜是做在玻璃片的或者做在硅片上的，现在需要测量一下介电常数。频率范围不是很大，温度范围也不是很大。
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1楼 2011-07-18 20:45:55
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zyflong

金虫 (小有名气)
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Originally posted by he2m16 at 2011-07-18 15:45:55:
薄膜是做在玻璃片的或者做在硅片上的，现在需要测量一下介电常数。频率范围不是很大，温度范围也不是很大。

不太懂，貌似做在硅片上用椭偏仪测吧，一般的电子系都会有的。
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2楼2011-07-19 04:04:14
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15172090543

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
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zhangquan8385(金币+1): 鼓励交流 2011-07-24 09:55:29
有专门测试薄膜的仪器，测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
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3楼2011-07-24 09:31:20
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
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3楼: Originally posted by 15172090543 at 2011-07-24 09:31:20
有专门测试薄膜的仪器，测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪

您好！
小白想咨询一下HP4294a测试压电薄膜介电性能的问题。
我的薄膜样品是基片/Pt/PZT/Pt，8mm*8mm大小，有一台HP4294a，
是不是用探针扎在两个电极上就能测薄膜介电性能了呢？
谢谢！
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4楼2014-04-10 11:09:43
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15172090543

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-04-10 11:09:43
您好！
小白想咨询一下HP4294a测试压电薄膜介电性能的问题。
我的薄膜样品是基片/Pt/PZT/Pt，8mm*8mm大小，有一台HP4294a，
是不是用探针扎在两个电极上就能测薄膜介电性能了呢？
谢谢！...

是这样的，薄膜上渡了点电极就可以测了
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5楼2014-04-20 18:20:13
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
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5楼: Originally posted by 15172090543 at 2014-04-20 18:20:13
是这样的，薄膜上渡了点电极就可以测了...

那测电容的话应该是镀点电极还是整个一层电极呢？感觉上电极用点电极
的话，测的只是那一点下方的电容，不知理解的对不对？
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6楼2014-04-21 17:49:53
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15172090543

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-04-21 17:49:53
那测电容的话应该是镀点电极还是整个一层电极呢？感觉上电极用点电极
的话，测的只是那一点下方的电容，不知理解的对不对？...

现在我不做这个，具体记不得了，应该是一个底电极，一个顶点电极
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7楼2014-04-30 19:20:33
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chinaworm

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有专门测试薄膜的仪器，带一个探针平台，测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪
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8楼2014-05-03 22:41:57
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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8楼: Originally posted by chinaworm at 2014-05-03 22:41:57
有专门测试薄膜的仪器，带一个探针平台，测介电常数和介电损耗的是阻抗分析仪

我们已经有一台HP4294，想配一个探针台来测薄膜
我的薄膜样品结构是基片/Pt/薄膜/Pt，请问上电极要
镀成点电极吗？探针台有什么参数要求呢？问了问美亚先代理
的台湾奕叶的探针台，最便宜的报价6万人民币。
谢谢！O(∩_∩)O~
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9楼2014-05-04 21:16:30
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there0oo

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问一下楼主，你们最后是用的点电极还是镀的一层整的电极测出来的
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10楼2015-01-08 21:41:28
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