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wushujie

木虫 (正式写手)

科研菜鸟

[求助] 请问薄膜表面内的晶向怎样确定

如题,如果我有一生长在蓝宝石沉底上的c面GaN薄膜,请问怎样确定c平面内[10-10]和[11-20]的方向?用XRD ψ扫描可以不,那又怎样标定呢?
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白露未晞

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


drg1984(金币+1): 感谢回帖交流! 2011-07-14 13:04:22
wushujie(金币+5): 想过没试过,应该试一下! 2011-07-14 13:52:52
wushujie(金币+5): 2011-07-19 18:33:56
[10-10]和[11-20]的方向和C面成90度角,先把样品旋转90度,使样品水平,光源尽可能的把狭缝放开,把样品和探测器旋转到衍射角度,旋转ψ,可以找衍射峰,这个时候就是相应面的位置。样品一般会有定位边(一般把定位边放在下面的水平位置),可以算出和定位边的角度。
另外,[10-10]和[11-20]面,六次对称,ψ扫描(-180度~180度)会出现六个峰
2楼2011-07-14 10:35:37
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zgsheng

木虫 (正式写手)

研究员


【答案】应助回帖


drg1984(金币+1): 感谢回帖交流! 2011-07-14 13:04:33
wushujie(金币+5): 非常感谢! 2011-07-14 13:53:45
wushujie(金币+5): 2011-07-19 18:34:00
1) 寻找其他特征峰值, 比如111 [具体的四轴标定可以查找],先找衬底的,在衬底附近找薄膜的,然后做phi扫描;如果薄膜是epitaxial,则出现六次对称。如果不是,则另行分析。

2)如果phi扫描合适,可以进一步做mapping

3)旋转九十度的方法原理上可行,实际很难!
3楼2011-07-14 12:37:26
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