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永远的骑士

金虫 (小有名气)

[交流] 如何用真空蒸镀控制2nm以下的Alq3 已有5人参与

本人在蒸镀过程发现,膜厚仪的示数很不稳定,容易一直波动,无法较准确地判断此时Alq3已经蒸镀的厚度。这可能与膜厚仪参数的设置有关系。因此,1、想请教一下Alq3膜厚参数的设定(density,tooling or z-factor),借以参考;2、蒸镀时,样品台与Alq3的保持在怎样的距离会更为合适?本人保持在10-15cm。
目前本人通过反复实验已经可以较大致地控制Alq3的蒸镀速率,但总感觉要控制2nm以下的厚度,难把握。因为即使膜厚仪显示了数值,但不表示蒸镀到基片上的厚度也与此一致。希望相关专业人士指点迷津。
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mengweixin

银虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
mlnjut(金币+1): 鼓励交流 2011-08-04 15:21:00
具体的不知道啊,毕业好久了,问一下厂家,他们会知道的
随便哪个国产厂家也行的
4楼2011-08-04 12:23:12
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xiekf1985

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
mlnjut(金币+1): 2011-07-13 15:35:35
国产的镀膜机很难把,试试配成极稀溶液旋图
2楼2011-07-13 11:46:31
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lcQ乐

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问您现在得出结论了吗?我也有您这样的问题要问呢,麻烦您知道的话,帮我解答一下
5楼2013-10-07 10:35:18
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ccmasyz

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
版主测镀膜的测厚仪有推荐码
6楼2013-10-17 10:51:42
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