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allan_81105

木虫 (正式写手)

[交流] 搭建高真空装置,请帮忙 已有4人参与

我要做在高真空度(<10-3pa)条件下的反应,但没有搭过这样的装置,有没有做过的,请帮忙提供一些资料或经验,谢啦
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dut2003

木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
nesimon(金币+2): 热心助人奖。 2012-03-10 19:40:10
玻璃扩散泵(好像是3级泵)串联一个好点的机械泵可以达到(甚至10-4Pa)。
2楼2012-03-10 19:11:28
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mahoswell

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
wgs8136(金币+3): 感谢应助! 2012-03-10 23:47:06
机械真空泵,2X-8旋片式,上海德英真空照明设备公司;扩散泵,3级全玻璃式,大连玻璃仪器厂;扩散泵油,七星3号,中石油大连石化分公司;高真空阀门,四氟螺旋式,北京欣维尔玻璃仪器有限公司;数显真空计,XG-10型(100~1×10-4 Pa),济宁新光真空电子仪器公司;优质玻璃管,GG-17硼硅酸盐玻璃,大连玻璃仪器厂;扩散泵用电炉,TD调温万用式(2000 W),巩义英峪予华仪器厂;电火花真空检漏器
谁伴我闯荡
3楼2012-03-10 23:27:44
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mahoswell

金虫 (小有名气)

★ ★
wgs8136(金币+2): 点击引用回复,可以插入图片 2012-03-10 23:47:22
高真空实验条件的提供依赖于真空系统,这也是高真空实验方法的基础平台。一个简单的高真空系统可划分为机械泵、扩散泵、高真空阀组、真空测量设备以及真空管路等几个主要部分,简单的高真空系统架设如图(不好意思,图传不了)
谁伴我闯荡
4楼2012-03-10 23:29:03
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mahoswell

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
wgs8136(金币+4): 感谢应助! 2012-03-10 23:47:48
玻璃管以及扩散泵以洗液浸泡,去离子水冲洗干净后烘干备用。依照管路设计依次固定烧接,将机械泵、扩散泵以及真空阀组装成整体,待系统烧接完毕后进行抽空检漏操作。
开机械泵对系统进行抽空,使用电火花真空检漏器,电击玻璃接缝处,检查是否存在“砂眼”(Pin holes)。将存在的砂眼处标记,待所有管路检查完毕后,关泵通气进行修理,砂眼修补时先用大火烘烤,预热砂眼所在区域,再调节煤气,升高温度加热砂眼处玻璃,使其变红软化,随后小心鼓气。反复几次即可完成修补操作,随后退火处理。再次抽空检验是否修补完好。
管路检查修补完毕后,对整个系统进行3~5天的抽空检查,已确定系统是否存在残余应力。残余应力主要是由玻璃管固定不当所产生,在系统抽空状态下会使管路突然断裂,造成危险,因此必须消除。应力排除检查完毕后,开始进行系统的高真空抽空检验,以便确定系统是否达到设计要求。待机械泵将系统抽控至10-1 Pa后,首先向扩散泵通冷却水,开电炉预热扩散泵,逐渐升温至扩散泵中泵油开始沸腾。扩散泵逐级开始工作,待状态稳定后检查此时所达到的真空度。普通空载状态下,密闭良好的真空系统可在扩散泵工作3~5 min内达到10-3 Pa,如果系统达不到要求,逐级关闭真空阀进行检查,以确定原因并进行相应的修理。
谁伴我闯荡
5楼2012-03-10 23:29:22
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mahoswell

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
wgs8136(金币+1): 2012-03-10 23:48:49
已发贴,资源里看看,希望能帮到你
谁伴我闯荡
6楼2012-03-10 23:46:13
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lincoln.zhao

金虫 (著名写手)

无虎上将

★
小木虫(金币+0.5): 给个红包,谢谢回帖
什么反应这么NB??
7楼2012-03-12 14:32:56
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guojun1029

银虫 (小有名气)

★
小木虫(金币+0.5): 给个红包,谢谢回帖
真空镀膜,PVD CVD 达到这样的真空比较简单,但都需要机械泵 分子泵的抽滤。
8楼2012-03-12 15:15:01
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lincoln.zhao

金虫 (著名写手)

无虎上将

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
哥们,你到底怎么解决的呀,送小花一朵,等你的回复哦
9楼2012-03-23 17:35:56
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