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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好 已有5人参与

铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好，方法为常温高真空下，PLD脉冲激光法，请大家赐教，
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善良
1楼 2011-07-11 19:38:05
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

bytianping

金虫 (正式写手)
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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:53:44
Pt与氧化物的结合力确实不好，通常先长一层Ti，Al等金属增强附着力，然后再长Pt。BiFeO3的功函数我不太了解，以ZnO为例吧，想要欧姆接触Al电极就长厚点，想要肖特基接触Al电极就薄点5~10nm。
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Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
6楼2011-07-15 08:01:07
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★
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Originally posted by wiseroy at 2011-07-15 10:00:44:
没错没错，谢谢，，您现在做什么

现在主要做器件了
我感觉制备金属电极的工艺还是很关键，我们制备在铁电薄膜上的Pt电极，在超声波清洗光刻胶的工序中，都不脱落。
到最终器件制备完成，需要经过很多次的超声波清洗。
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
11楼2011-07-15 16:13:24
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wjg09118372

铜虫 (正式写手)
Pt与氧化物的结合力确实不好，通常先长一层Ti，Al等金属增强附着力，然后再长Pt。BiFeO3的功函数我不太了解，以ZnO为例吧，想要欧姆接触Al电极就长厚点，想要肖特基接触Al电极就薄点5~10nm。
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Trymybest!
16楼2011-07-16 00:01:36
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普通回帖

guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与` 2011-07-15 07:44:33
很少用PLD做电极的吧
我们一般使用磁控和蒸发制备电极
你在高温下热处理一下吧，大约400-500度
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-07-13 20:15:37
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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Originally posted by guody at 2011-07-13 20:15:37:
很少用PLD做电极的吧
我们一般使用磁控和蒸发制备电极
你在高温下热处理一下吧，大约400-500度

谢谢。用过，效果不明显。。您是做什么材料的呢，
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善良
3楼2011-07-13 20:50:13
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与` 2011-07-15 07:44:41
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-13 20:50:13:
谢谢。用过，效果不明显。。您是做什么材料的呢，

钙钛矿结构的铁电材料都做过，PZT, Bi4Ti3O12, SBT, BiFeO3, Ba-Ti
制备电极也需要摸索的，多尝试一下
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4楼2011-07-14 21:07:12
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)
★
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Originally posted by guody at 2011-07-14 21:07:12:
钙钛矿结构的铁电材料都做过，PZT, Bi4Ti3O12, SBT, BiFeO3, Ba-Ti
制备电极也需要摸索的，多尝试一下

从BaTiO一路做到BiFeO，厉害厉害，景仰一下
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5楼2011-07-14 21:22:30
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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Originally posted by bytianping at 2011-07-15 08:01:07:
Pt与氧化物的结合力确实不好，通常先长一层Ti，Al等金属增强附着力，然后再长Pt。BiFeO3的功函数我不太了解，以ZnO为例吧，想要欧姆接触Al电极就长厚点，想要肖特基接触Al电极就薄点5~10nm。

受教了，谢谢，您是做zno？
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善良
7楼2011-07-15 10:00:19
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-14 21:07:12:
钙钛矿结构的铁电材料都做过，PZT, Bi4Ti3O12, SBT, BiFeO3, Ba-Ti
制备电极也需要摸索的，多尝试一下

没错没错，谢谢，，您现在做什么
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善良
8楼2011-07-15 10:00:44
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
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Originally posted by wiseroy at 2011-07-15 11:00:19:
受教了，谢谢，您是做zno？

是啊，我主要做ZnO，TiO2，SnO2。钙钛矿的我也很感兴趣，目前多铁性材料比较热门吧。

[ Last edited by bytianping on 2011-7-15 at 11:57 ]
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9楼2011-07-15 10:56:19
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by bytianping at 2011-07-15 10:56:19:
是啊，我主要做ZnO，TiO2，SnO2。钙钛矿的我也很感兴趣，目前多铁性材料比较热门吧。

[ Last edited by bytianping on 2011-7-15 at 11:57 ]

我在南京。。您博士了？还是更高？多多指教哈。
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善良
10楼2011-07-15 14:50:06
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