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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【交流】BiFeO3为什么很脆，溅射破裂?
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zhangdelin0000

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】BiFeO3为什么很脆，溅射破裂? 已有4人参与

给位高手，本人最近做了一个BiFeO3靶材，冷等静压压制的，结果用磁控溅射溅射时，靶材出现裂缝，非常脆，用手就可以很轻松的掰碎，请给位高手给与指点，非常感谢！！！
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1楼 2010-06-06 22:29:51
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zhangdelin0000

木虫 (著名写手)
顶一下自己，期待高手相助！！！
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2楼2010-06-07 09:10:30
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-06-07 23:33:42
陶瓷靶通常都比较脆，这个没什么吧，“磁控溅射溅射时，靶材出现裂缝”是不是靶不平整，这样的话冷却不均容易裂开。
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3楼2010-06-07 17:17:45
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农家仔

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也碰到过这个问题，当时考虑的原因是没有进行烧结，现在我正在验证这个问题，呵呵
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好吃不懒做
4楼2010-06-24 17:30:44
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superlx

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
做靶材的时候注意升温速率和降温速率吧，淬火虽然容易提高其铁电性但靶材也易裂，自己把握那个度吧~
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5楼2010-11-01 14:59:01
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