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zhangdelin0000

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】BiFeO3为什么很脆,溅射破裂? 已有4人参与

给位高手,本人最近做了一个BiFeO3靶材,冷等静压压制的,结果用磁控溅射溅射时,靶材出现裂缝,非常脆,用手就可以很轻松的掰碎,请给位高手给与指点,非常感谢!!!
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zhangdelin0000

木虫 (著名写手)

顶一下自己,期待高手相助!!!
2楼2010-06-07 09:10:30
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-06-07 23:33:42
陶瓷靶通常都比较脆,这个没什么吧,“磁控溅射溅射时,靶材出现裂缝”是不是靶不平整,这样的话冷却不均容易裂开。
3楼2010-06-07 17:17:45
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农家仔

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我也碰到过这个问题,当时考虑的原因是没有进行烧结,现在我正在验证这个问题,呵呵
好吃不懒做
4楼2010-06-24 17:30:44
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superlx

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
做靶材的时候注意升温速率和降温速率吧,淬火虽然容易提高其铁电性但靶材也易裂,自己把握那个度吧~
5楼2010-11-01 14:59:01
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