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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-15 10:00:44:
没错没错，谢谢，，您现在做什么

现在主要做器件了
我感觉制备金属电极的工艺还是很关键，我们制备在铁电薄膜上的Pt电极，在超声波清洗光刻胶的工序中，都不脱落。
到最终器件制备完成，需要经过很多次的超声波清洗。
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
11楼2011-07-15 16:13:24
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-15 16:13:24:
现在主要做器件了
我感觉制备金属电极的工艺还是很关键，我们制备在铁电薄膜上的Pt电极，在超声波清洗光刻胶的工序中，都不脱落。
到最终器件制备完成，需要经过很多次的超声波清洗。

说实话，我也希望我能做出这种电极
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善良
12楼2011-07-15 22:34:52
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-15 16:13:24:
现在主要做器件了
我感觉制备金属电极的工艺还是很关键，我们制备在铁电薄膜上的Pt电极，在超声波清洗光刻胶的工序中，都不脱落。
到最终器件制备完成，需要经过很多次的超声波清洗。

除了热处理，还有窍门吗？小窍门，，谢谢，
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善良
13楼2011-07-15 22:38:14
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:54:10
增加接触，一般先镀Ti，然后Pt
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14楼2011-07-15 23:03:57
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-15 22:38:14:
除了热处理，还有窍门吗？小窍门，，谢谢，

我们是用蒸法做的
半个小时大概200 nm厚度
完成后，还需要进行一次热处理，等冷却到低温下取出
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
15楼2011-07-15 23:47:59
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wjg09118372

铜虫 (正式写手)
Pt与氧化物的结合力确实不好，通常先长一层Ti，Al等金属增强附着力，然后再长Pt。BiFeO3的功函数我不太了解，以ZnO为例吧，想要欧姆接触Al电极就长厚点，想要肖特基接触Al电极就薄点5~10nm。
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Trymybest!
16楼2011-07-16 00:01:36
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wjg09118372

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
有没有其他的方法可以把这件事做好，想想其他的方法，也许有用。
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Trymybest!
17楼2011-07-16 00:02:46
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