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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好 已有5人参与

铁酸铋BiFeO3上电极（Pt）与膜结合性不好，方法为常温高真空下，PLD脉冲激光法，请大家赐教，
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善良
1楼 2011-07-11 19:38:05
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-15 16:13:24:
现在主要做器件了
我感觉制备金属电极的工艺还是很关键，我们制备在铁电薄膜上的Pt电极，在超声波清洗光刻胶的工序中，都不脱落。
到最终器件制备完成，需要经过很多次的超声波清洗。

除了热处理，还有窍门吗？小窍门，，谢谢，
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善良
13楼2011-07-15 22:38:14
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与` 2011-07-15 07:44:33
很少用PLD做电极的吧
我们一般使用磁控和蒸发制备电极
你在高温下热处理一下吧，大约400-500度
赞一下(2人) 回复此楼
求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-07-13 20:15:37
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-13 20:15:37:
很少用PLD做电极的吧
我们一般使用磁控和蒸发制备电极
你在高温下热处理一下吧，大约400-500度

谢谢。用过，效果不明显。。您是做什么材料的呢，
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善良
3楼2011-07-13 20:50:13
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与` 2011-07-15 07:44:41
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-13 20:50:13:
谢谢。用过，效果不明显。。您是做什么材料的呢，

钙钛矿结构的铁电材料都做过，PZT, Bi4Ti3O12, SBT, BiFeO3, Ba-Ti
制备电极也需要摸索的，多尝试一下
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
4楼2011-07-14 21:07:12
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