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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 求教一下做氧化锌掺钴靶材的各位~
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zoulanlan

新虫 (初入文坛)

[求助] 求教一下做氧化锌掺钴靶材的各位~

求教一下大家，我做了一个氧化锌掺杂氧化钴的靶，掺杂的氧化钴的浓度是1%，烧结温度是1000℃，烧结时间是10h，一次烧结没有多次烧结。烧出来后用磁控溅射在不同的衬底温度下做了4个膜，EDS看了一下成分，发现都没有钴的成分。我测了一下靶的成分分布（也是用EDS），发现从上表面到下表面，钴的成分分布大概是从少到多，钴倾向于沉在底部，求问一下，这是为什么啊？

谢谢回答~
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1楼 2011-07-06 21:05:03
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zoulanlan

新虫 (初入文坛)
回3L  是氧化锌粉末+一氧化钴粉末研磨，再压成靶
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5楼2011-07-11 10:36:29
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陈勇跃

金虫 (正式写手)
厉害，还可以自己作靶材，我是来顶的！！
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2楼2011-07-07 22:34:01
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zxling222

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你把靶材用砂纸打磨一下，把表面层磨掉尽量露出里层，再溅射几片看看
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做自己的事，开心就好
3楼2011-07-08 10:42:01
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学术CR7

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请问你是用什么方法掺杂的？是扩散还是其他方法？
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加油哦
4楼2011-07-10 22:15:02
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