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[求助]
求教一下做氧化锌掺钴靶材的各位~
求教一下大家,我做了一个氧化锌掺杂氧化钴的靶,掺杂的氧化钴的浓度是1%,烧结温度是1000℃,烧结时间是10h,一次烧结没有多次烧结。烧出来后用磁控溅射在不同的衬底温度下做了4个膜,EDS看了一下成分,发现都没有钴的成分。我测了一下靶的成分分布(也是用EDS),发现从上表面到下表面,钴的成分分布大概是从少到多,钴倾向于沉在底部,求问一下,这是为什么啊?
谢谢回答~ |
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