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zoulanlan新虫 (初入文坛)
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[求助]
求教一下做氧化锌掺钴靶材的各位~
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求教一下大家，我做了一个氧化锌掺杂氧化钴的靶，掺杂的氧化钴的浓度是1%，烧结温度是1000℃，烧结时间是10h，一次烧结没有多次烧结。烧出来后用磁控溅射在不同的衬底温度下做了4个膜，EDS看了一下成分，发现都没有钴的成分。我测了一下靶的成分分布（也是用EDS），发现从上表面到下表面，钴的成分分布大概是从少到多，钴倾向于沉在底部，求问一下，这是为什么啊？ 谢谢回答~ |
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4楼2011-07-10 22:15:02
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