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zoulanlan

新虫 (初入文坛)

[求助] 求教一下做氧化锌掺钴靶材的各位~

求教一下大家,我做了一个氧化锌掺杂氧化钴的靶,掺杂的氧化钴的浓度是1%,烧结温度是1000℃,烧结时间是10h,一次烧结没有多次烧结。烧出来后用磁控溅射在不同的衬底温度下做了4个膜,EDS看了一下成分,发现都没有钴的成分。我测了一下靶的成分分布(也是用EDS),发现从上表面到下表面,钴的成分分布大概是从少到多,钴倾向于沉在底部,求问一下,这是为什么啊?

谢谢回答~
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陈勇跃

金虫 (正式写手)

厉害,还可以自己作靶材,我是来顶的!!
2楼2011-07-07 22:34:01
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zxling222

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你把靶材用砂纸打磨一下,把表面层磨掉尽量露出里层,再溅射几片看看
做自己的事,开心就好
3楼2011-07-08 10:42:01
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学术CR7

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请问你是用什么方法掺杂的?是扩散还是其他方法?
加油哦
4楼2011-07-10 22:15:02
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zoulanlan

新虫 (初入文坛)

回3L  是氧化锌粉末+一氧化钴粉末研磨,再压成靶
5楼2011-07-11 10:36:29
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sysudwl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

"氧化锌粉末+一氧化钴粉末研磨,再压成靶"这种机械的方法很难将二者混合均匀,即便是球磨机球磨也很难,再加上溅射时,不同成分的溅射率不同,可能是导致样品中检测不到钴的根本原因,还是靶有问题。
6楼2011-07-11 22:33:10
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