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drg1984

荣誉版主 (著名写手)

奋斗

[交流] LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台及其对应的测量项目 已有5人参与

总结了一下LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台，以及其对应的测量项目，请各位指教。

台阶仪——测量刻蚀的深度、宽度及其刻蚀均匀性
SEM——评价刻蚀形貌、粗糙度、损伤等
AFM——测量图形化衬底的形貌，及其图形的深度、高度、宽度及其角度等信息，同时可以 测量刻蚀表面的粗糙度等


AES/XPS——测量刻蚀表面的成分，评价刻蚀对刻蚀物的损伤
X 射线衍射仪——分析外延片的结晶完整性、均匀性、层厚、组分、应变、缺陷和界面
Raman散射光谱——组分、结构和形貌的分析和测定参数测量和物性研究：如异质结结构中 的声子和界面性质、电子浓度、缺陷杂质局域振动等结构相和相变研 究：有序无序结构相变等。
HL霍尔效应测试系统——测试半导体材料及外延层材料电阻系数，载流子浓度及迁移率


PL（PL Mapping）荧光光谱仪测量材料的光致发光特性、对半导 体Wafer进行微区均匀性测量和表面分析
电化学C-V测试系统——作半导体材料及外延层材料纵向浓度分布测试
EL测试系统——测试VF、亮度、波长、半波宽等
面电阻测试仪——测试LED外延层电阻率


LED衬底材料厚度/ 平坦度测试仪——测试蓝宝石衬底厚度/弯曲度/翘曲度/平坦度
LED芯片测试机——可测试VF，IR，VZ，LOP，λ P，λ d，λC,（x,y）, HW,CCT 等各项 LED  芯片光电参数
LED芯片/成品老化测试系统——测量芯片的可靠性
ITO表面电阻测试仪——测试硅晶圆扩散层或金属层的电阻系数及Sheet的电阻值
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春有百花秋有月，夏有凉风冬有雪。若无闲事挂心头，便是人间好时节。
1楼 2011-06-19 23:58:28
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nanodot

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问楼主：EL测试系统仪器的生产厂家有哪些？先谢过了
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7楼2015-03-04 10:30:36
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水痕585

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
请教楼主关于蓝宝石单晶的测试手段都有哪些呢？比如半峰宽、损伤层厚度、位错密度等
赞一下(1人) 回复此楼
总有些事会让你无语
2楼2011-06-20 13:44:03
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xueer1212

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
你好 请教楼主关于led芯片的问题 交流交流可否
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3楼2011-10-27 17:47:16
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majieyuan

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主总结的很全，谢谢。
通常LED chip还会加一些制程平台上去，以利于其外部量子效率的提升，故
可能还会用到（小弟补充下）
紫外-可见光分光光谱仪——测量R%,T%和吸收
光学显微镜——表面显微观察
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5楼2012-05-19 12:18:10
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