| 查看: 2244 | 回复: 6 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
drg1984荣誉版主 (著名写手)
奋斗
|
[交流]
LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台及其对应的测量项目 已有5人参与
|
|||
|
总结了一下LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台，以及其对应的测量项目，请各位指教。 台阶仪——测量刻蚀的深度、宽度及其刻蚀均匀性 SEM——评价刻蚀形貌、粗糙度、损伤等 AFM——测量图形化衬底的形貌，及其图形的深度、高度、宽度及其角度等信息，同时可以 测量刻蚀表面的粗糙度等 AES/XPS——测量刻蚀表面的成分，评价刻蚀对刻蚀物的损伤 X 射线衍射仪——分析外延片的结晶完整性、均匀性、层厚、组分、应变、缺陷和界面 Raman散射光谱——组分、结构和形貌的分析和测定参数测量和物性研究：如异质结结构中 的声子和界面性质、电子浓度、缺陷杂质局域振动等结构相和相变研 究：有序无序结构相变等。 HL霍尔效应测试系统——测试半导体材料及外延层材料电阻系数，载流子浓度及迁移率 PL（PL Mapping）荧光光谱仪测量材料的光致发光特性、对半导 体Wafer进行微区均匀性测量和表面分析 电化学C-V测试系统——作半导体材料及外延层材料纵向浓度分布测试 EL测试系统——测试VF、亮度、波长、半波宽等 面电阻测试仪——测试LED外延层电阻率 LED衬底材料厚度/ 平坦度测试仪——测试蓝宝石衬底厚度/弯曲度/翘曲度/平坦度 LED芯片测试机——可测试VF，IR，VZ，LOP，λ P，λ d，λC,（x,y）, HW,CCT 等各项 LED 芯片光电参数 LED芯片/成品老化测试系统——测量芯片的可靠性 ITO表面电阻测试仪——测试硅晶圆扩散层或金属层的电阻系数及Sheet的电阻值 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 百宝箱 |
» 猜你喜欢
中南大学易小艺课题组诚招2026申请-考核制博士生
已经有0人回复
-
海南师范大学招收化学博士（光电功能材料课题组招收博士研究生）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有64人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 急求测量残余应力的地方
已经有4人回复
- 请问哪里可以测霍尔系数啊？
已经有4人回复
- 关于原子吸收测Cd
已经有6人回复
- 关于霍尔系统测载流子浓度和迁移率的问题
已经有7人回复
- 关于台阶仪测量厚度的问题
已经有8人回复
- 在线测量液相线、固相线温度
已经有8人回复
- LED芯片中ITO合金什么作用？
已经有20人回复
- 半导体C-V测试
已经有14人回复
- 【急求助】Raman、PL对材料结构的分析
已经有11人回复
- 【求助】荧光光谱的半峰宽
已经有7人回复
- 【请教】半导体材料测PL光致发光光谱
已经有15人回复
cwyangyang
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 20
- 散金: 4
- 帖子: 13
- 在线: 4.3小时
- 虫号: 2429969
- 注册: 2013-04-22
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2013-11-14 09:00:47
2楼2011-06-20 13:44:03
3楼2011-10-27 17:47:16
majieyuan
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1130.1
- 帖子: 217
- 在线: 9.5小时
- 虫号: 401915
- 注册: 2007-06-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2012-05-19 12:18:10