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drg1984荣誉版主 (著名写手)
奋斗
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[交流]
LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台及其对应的测量项目 已有5人参与
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总结了一下LED芯片和PSS生产需要使用的测量机台，以及其对应的测量项目，请各位指教。 台阶仪——测量刻蚀的深度、宽度及其刻蚀均匀性 SEM——评价刻蚀形貌、粗糙度、损伤等 AFM——测量图形化衬底的形貌，及其图形的深度、高度、宽度及其角度等信息，同时可以 测量刻蚀表面的粗糙度等 AES/XPS——测量刻蚀表面的成分，评价刻蚀对刻蚀物的损伤 X 射线衍射仪——分析外延片的结晶完整性、均匀性、层厚、组分、应变、缺陷和界面 Raman散射光谱——组分、结构和形貌的分析和测定参数测量和物性研究：如异质结结构中 的声子和界面性质、电子浓度、缺陷杂质局域振动等结构相和相变研 究：有序无序结构相变等。 HL霍尔效应测试系统——测试半导体材料及外延层材料电阻系数，载流子浓度及迁移率 PL（PL Mapping）荧光光谱仪测量材料的光致发光特性、对半导 体Wafer进行微区均匀性测量和表面分析 电化学C-V测试系统——作半导体材料及外延层材料纵向浓度分布测试 EL测试系统——测试VF、亮度、波长、半波宽等 面电阻测试仪——测试LED外延层电阻率 LED衬底材料厚度/ 平坦度测试仪——测试蓝宝石衬底厚度/弯曲度/翘曲度/平坦度 LED芯片测试机——可测试VF，IR，VZ，LOP，λ P，λ d，λC,（x,y）, HW,CCT 等各项 LED 芯片光电参数 LED芯片/成品老化测试系统——测量芯片的可靠性 ITO表面电阻测试仪——测试硅晶圆扩散层或金属层的电阻系数及Sheet的电阻值 |
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