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boys19881001

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 293.4
散金: 5
帖子: 106
在线: 40.3小时
虫号: 995160
注册: 2010-04-12
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 球体表面膜厚测量

在钢球表面镀了几百纳米厚的膜，想较精确的测试膜厚，请问有什么好的办法吗？

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1楼 2011-06-15 11:02:08

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sea_wind

铜虫 (小有名气)

应助: 7 (幼儿园)
金币: 134
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帖子: 58
在线: 25.7小时
虫号: 918478
注册: 2009-12-02
专业: 无机非金属类电介质与电解

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

用轮廓仪（或者叫台阶仪）咯，垂直方向精度最高可达0.1 nm。

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5楼2012-03-22 14:35:21

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期待成长

捐助贵宾 (知名作家)

突破自己、用心成长

MEPI: 1
应助: 151 (高中生)
金币: 18511.4
散金: 380
红花: 20
帖子: 5765
在线: 766.5小时
虫号: 1067239
注册: 2010-07-31
性别: GG
专业: 无机非金属材料

【答案】应助回帖

测试的过程中可以破坏这个试样么？如果可以的话，用酚醛树脂做成金相试样，然后再用砂纸磨，磨到直接位置，再用带刻度的光学显微镜拍照。观察钢球直径和表面膜层的厚度比，然后再用游标测出钢球的实际直径，利用比例尺就可以得到表面膜层的厚度。这种方法可测出微米级的膜厚。

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让生活不断前进

2楼2011-06-16 17:16:02

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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 108 (高中生)
贵宾: 0.067
金币: 7423.8
红花: 20
帖子: 1982
在线: 316.4小时
虫号: 352302
注册: 2007-04-22
专业: 光谱分析

【答案】应助回帖

XPS作sputter 实验。

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3楼2011-06-17 17:39:05

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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &

应助: 17 (小学生)
金币: 272
散金: 237
红花: 1
帖子: 309
在线: 118.6小时
虫号: 1330581
注册: 2011-06-24
性别: GG
专业: 光学信息获取与处理

【答案】应助回帖

扫描电镜观察测量，环氧树脂镶样，然后做剖面，解理出膜层然后测量。
如果是单质膜层，可以找EDXRF，用X射线测量膜厚。这个据说比较准确，一次能够测量多层膜厚，越是纳米尺度的层厚越越准确。

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4楼2011-08-08 12:35:40

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