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boys19881001

银虫 (小有名气)

[求助] 球体表面膜厚测量

在钢球表面镀了几百纳米厚的膜,想较精确的测试膜厚,请问有什么好的办法吗?
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COXEM

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【答案】应助回帖

扫描电镜观察测量,环氧树脂镶样,然后做剖面,解理出膜层然后测量。
如果是单质膜层,可以找EDXRF,用X射线测量膜厚。这个据说比较准确,一次能够测量多层膜厚,越是纳米尺度的层厚越越准确。
4楼2011-08-08 12:35:40
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