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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 球体表面膜厚测量
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boys19881001

银虫 (小有名气)

[求助] 球体表面膜厚测量

在钢球表面镀了几百纳米厚的膜，想较精确的测试膜厚，请问有什么好的办法吗？
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1楼2011-06-15 11:02:08
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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

XPS作sputter 实验。
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3楼2011-06-17 17:39:05
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期待成长

捐助贵宾 (知名作家)

突破自己、用心成长

【答案】应助回帖

测试的过程中可以破坏这个试样么？如果可以的话，用酚醛树脂做成金相试样，然后再用砂纸磨，磨到直接位置，再用带刻度的光学显微镜拍照。观察钢球直径和表面膜层的厚度比，然后再用游标测出钢球的实际直径，利用比例尺就可以得到表面膜层的厚度。这种方法可测出微米级的膜厚。
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让生活不断前进
2楼2011-06-16 17:16:02
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖

扫描电镜观察测量，环氧树脂镶样，然后做剖面，解理出膜层然后测量。
如果是单质膜层，可以找EDXRF，用X射线测量膜厚。这个据说比较准确，一次能够测量多层膜厚，越是纳米尺度的层厚越越准确。
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4楼2011-08-08 12:35:40
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sea_wind

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用轮廓仪（或者叫台阶仪）咯，垂直方向精度最高可达0.1 nm。
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5楼2012-03-22 14:35:21
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