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apolloljy银虫 (小有名气)
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现今电子束曝光系统所能做的最小尺寸
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我想请问现今电子束曝光系统所能做到最小的曝光图形和最小的曝光线宽分别能达到多少？ 可否有近一两年的文献让我阅读以下，谢谢！ [ Last edited by apolloljy on 2011-6-12 at 16:24 ] |
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zhoujun65
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