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apolloljy银虫 (小有名气)
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[求助]
现今电子束曝光系统所能做的最小尺寸
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我想请问现今电子束曝光系统所能做到最小的曝光图形和最小的曝光线宽分别能达到多少？ 可否有近一两年的文献让我阅读以下，谢谢！ [ Last edited by apolloljy on 2011-6-12 at 16:24 ] |
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| 其实现在的电子束曝光系统所能做到的最小的曝光图形和最小的曝光线宽是根据SEM的精度来确定的。一般几个纳米都是没有多大问题的。基于SEM改装的电子束曝光系统相对于购买昂贵的专用电子束曝光机，以既有的SEM等为基础，可大幅节省造价，且兼具原SEM的观测功能，在功能与价格方面均有优势。http://www.phychemi.com/cp/html/?167.html |
5楼2013-08-08 12:45:49
