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2010yjs

金虫 (小有名气)

[求助] 如何清洗硅片

想在硅片上滴涂胶体溶液去照扫描电镜,想问问如何清洗硅片,才能达到洁净的要求!
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2010yjs

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by liucheng200883 at 2011-06-09 09:23:41:
物理清洗  物理清洗有三种方法。①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。②高压清洗:是用液体喷射片子表面,喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用,片子不易产生划痕和损伤。但高压喷 ...

这个我在goole上我也看到了 ,想问问大家在实验室实际做的时候事怎样做的?
3楼2011-06-09 09:36:34
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