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二氧化硅包覆四氧化三铁,如何只除去二氧化硅而保留四氧化三铁?
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性别: GG
专业: 污染控制化学
[交流]
二氧化硅包覆四氧化三铁,如何只除去二氧化硅而保留四氧化三铁?
已有10人参与
二氧化硅包覆四氧化三铁的结构,如何只把二氧化硅刻蚀掉而保留下四氧化三铁??
用HFa cid 刻蚀可以吗?如果浓度控制不好的话,连四氧化三铁一起刻蚀掉了。
[
Last edited by blacklight on 2011-6-2 at 15:05
]
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