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ISO 14644-1 洁净室及相关受控环境
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ISO为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。 国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。 国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。 ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成: 第1部分:空气洁净度等级划分 第2部分:为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 第3部分:计量和测试方法 第4部分:设计、施工和启动 第5部分:运行 第6部分:术语和定义 第7部分:增强的洁净装置 用户应注意,第2至第7部分的标题为第1部分发行时的工作标题。如果从工作计划中删除了一部分或几部分,剩余部分可以重新编写。 附录B和C为ISO 14644的组成部分,附录A、D、E和F仅作资料用。 |
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