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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 铁电薄膜上长Pt电极 已有4人参与

在铁电薄膜上长Pt电极,一般怎么控制,防止薄膜被打坏?脉冲激光沉积法,
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善良
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lekie9876

铜虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
abooo(金币+1): 欢迎交流! 2011-04-29 23:00:14
采用溅射工艺 控制工艺参数 减小应力 防止膜出现裂纹
LZ是不是做压电元件的?
科研适合我么
3楼2011-04-29 16:19:06
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
csuhcb2000(金币+1): 欢迎交流 2011-04-30 09:08:11
无需控制,不加热随便长,长出来漏电的都是薄膜没做好。
2楼2011-04-29 16:11:20
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by lekie9876 at 2011-04-29 16:19:06:
采用溅射工艺 控制工艺参数 减小应力 防止膜出现裂纹
LZ是不是做压电元件的?

铁酸铋薄膜,
善良
4楼2011-04-29 16:24:38
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by diwunju at 2011-04-29 16:11:20:
无需控制,不加热随便长,长出来漏电的都是薄膜没做好。

能量太大,不会把膜打穿?
善良
5楼2011-04-29 16:25:06
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