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铁电薄膜上长Pt电极
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铁电薄膜上长Pt电极
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在铁电薄膜上长Pt电极,一般怎么控制,防止薄膜被打坏?脉冲激光沉积法,
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善良
1楼
2011-04-29 15:54:15
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lekie9876
铜虫
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):给个红包,谢谢回帖
abooo(金币+1): 欢迎交流! 2011-04-29 23:00:14
采用溅射工艺 控制工艺参数 减小应力 防止膜出现裂纹
LZ是不是做压电元件的?
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科研适合我么
3楼
2011-04-29 16:19:06
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