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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 前沿热点 » 离子刻蚀中的各向异性怎么测量
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茅洲

金虫 (小有名气)

[交流] 离子刻蚀中的各向异性怎么测量

我想了解一下离子刻蚀中的各向异性的测量方法，请各位虫友交流一下！
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1楼 2011-04-28 09:19:35
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shecf

(文坛精英)
★
茅洲(金币+1):谢谢参与
用扫描电镜吧
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2楼2011-04-28 09:41:07
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nobady

金虫 (正式写手)
★ ★
茅洲(金币+1):谢谢参与
zhaohaixing(金币+1): 鼓励交流~ 2011-04-30 11:29:46
TEM 切片，看横向和纵向的尺寸！
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3楼2011-04-29 22:00:38
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